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产品详情

  • 产品名称：高速大口径干式真空泵KASHIYAMA樫山

  • 产品型号：SDL20E50
  • 产品厂商：日本KASHIYAMA樫山
  • 产品文档：
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简单介绍：
SDL 系列，大功率高速排气，可满足超过15万L/min的需求。
详情介绍：


SDL系列

KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。

支持放大晶圆和FPD

通过组合可以实现大排量。 我们将回应超过150,000升/分钟的要求。

更短的节拍时间

通过确保大气侧排气速度，高速抽空大型负载锁定室



1，充分应对晶片FPD的大口径化通过组合

可实现大排气量化?？陕愠?5万L/min的要求。

2，由于高速排气缩短节拍时间，通过确保大气侧排气速度
通过大型负载锁定室的高速排气，缩短节拍时间。



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